泽攸台式扫描电镜结构解析与核心组件

产品简介

泽攸台式扫描电镜结构解析与核心组件
作为一款适用于实验室及工业场景的台式扫描电子显微镜（SEM），ZEM20的设计兼顾紧凑性与功能性。

产品型号：ZEM20

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

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泽攸台式扫描电镜结构解析与核心组件

作为一款适用于实验室及工业场景的台式扫描电子显微镜（SEM），ZEM20的设计兼顾紧凑性与功能性。其整体结构采用模块化布局，主要由电子光学系统、真空系统、信号探测与处理系统及操作控制单元四大部分构成，各组件协同工作以实现高质量成像与分析。

电子光学系统是ZEM20的核心。设备搭载热发射电子枪，通过钨灯丝加热发射电子，经聚光镜、物镜两级电磁透镜聚焦，形成纳米级电子束扫描样品表面。物镜采用无氧铜材质绕制线圈，减少磁场畸变，提升电子束斑稳定性。值得关注的是，其电子束流可通过软件调节（范围5pA-10nA），适配不同导电性样品的成像需求——低电流适用于脆弱样品（如生物切片），高电流则用于增强信号强度。

真空系统采用双级设计，前级为机械泵快速预抽至10⁻¹Pa，后级可选配分子泵进一步提升至10⁻⁵Pa（高真空模式）或保持10Pa（低真空模式）。低真空模式无需喷金处理，可直接观察含水或易荷电的非导电样品（如植物叶片、聚合物材料），扩展了应用场景。真空腔体采用304不锈钢材质，内壁经电解抛光处理，降低气体吸附，缩短抽真空时间（高真空模式下约5分钟）。

信号探测系统配备二次电子探测器（SE）与背散射电子探测器（BSE）。SE探测器通过Everhart-Thornley栅网收集样品表面二次电子，侧重形貌观察；BSE探测器采用固态硅漂移技术，对成分差异敏感，可区分样品中不同元素区域（如金属合金中的相分布）。两种探测器均支持软件切换，用户可根据需求选择成像模式。

操作控制单元集成15英寸触控屏，界面直观显示真空状态、电子束参数及实时图像。设备支持外接电脑控制，兼容Windows系统，便于数据存储与后期分析。接口方面，预留USB、HDMI及网口，可连接相机、打印机或实验室信息管理系统（LIMS）。

ZEM20的型号根据配置差异分为基础版（ZEM20-B）与专业版（ZEM20-P）。基础版侧重教学与常规检测，标配SE探测器；专业版增加BSE探测器、自动聚焦功能及更大的样品仓（可容纳直径30mm样品），适合科研级需求。

从结构设计可见，ZEM20通过优化电子光学路径、灵活的真空模式及多探测器配置，在紧凑机身内实现了功能的平衡。其核心组件的选材（如无氧铜线圈、304不锈钢腔体）与模块化布局，既保证了成像稳定性，也为后续升级预留了空间

泽攸台式扫描电镜结构解析与核心组件

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