泽攸台式扫描电镜操作流程与规范指南

泽攸台式扫描电镜操作流程与规范指南

1. 检查环境：实验室温度应控制在20±5℃，湿度≤70%，避免电磁干扰（远离大型电机）。

   
   

2. 开启电源：先开外接稳压电源（输出220V±10%），再启动主机电源开关（位于机身背面）。等待30秒后，真空系统自动启动，机械泵开始预抽真空。

   
   

3. 系统自检：触控屏显示“系统初始化"，约2分钟后进入主界面，确认真空状态为“预抽中"（高真空模式需等待至“高真空就绪"，约5分钟）。

   
   

1. 打开样品仓门：按下舱门解锁按钮（红色），向外拉出样品仓。

   
   

2. 固定样品：使用标准样品台（直径25mm），通过导电胶或碳带将样品粘牢（避免样品脱落或移动）。若样品过高（≤10mm），可调节样品台高度旋钮至合适位置。

   
   

3. 关闭样品仓：轻推样品仓至锁定位置，听到“咔嗒"声表示密封良好。

   
   

1. 选择真空模式：非导电样品（如聚合物）选“低真空"，导电样品（如金属）选“高真空"。

   
   

2. 调节加速电压：初始建议10kV（低损伤），根据成像效果调整（如需更高分辨率，升至20-30kV）。

   
   

3. 聚焦与消像散：点击“自动聚焦"按钮，若效果不佳，手动调节焦距旋钮；消像散器调至“自动"，优化图像锐度。

   
   

4. 选择探测器：默认SE模式，需成分分析时切换至BSE（选配）。

   
   

5. 图像采集：点击“拍照"保存JPEG或TIFF格式，支持连续拍摄（间隔1秒）。

   
   

1. 降低加速电压至5kV，关闭灯丝电流（避免灯丝氧化）。

   
   

2. 退出成像软件，关闭主机电源。

   
   

3. 待真空系统自动泄真空（约2分钟），打开样品仓取出样品。

   
   

4. 清洁样品仓：用无尘纸擦拭仓内壁，避免样品残留污染下次实验。

   
   

• 样品需干燥、无油污，避免污染真空腔（否则延长抽真空时间）。

  
  

• 高真空模式下，禁止直接放入未喷金的非导电样品（易荷电导致图像模糊）。

  
  

• 长期停机（超过1周）时，建议每周开机1次，维持真空系统活性。