泽攸台式扫描电镜日常维护与性能保持

产品简介

泽攸台式扫描电镜日常维护与性能保持
台式扫描电子显微镜的长期性能稳定，依赖于定期维护。ZEM20的维护重点集中在真空系统、探测器及环境控制，以下为具体维护策略。

产品型号：ZEM20

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

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泽攸台式扫描电镜日常维护与性能保持

台式扫描电子显微镜的长期性能稳定，依赖于定期维护。ZEM20的维护重点集中在真空系统、探测器及环境控制，以下为具体维护策略。

一、真空系统维护

定期更换泵油：机械泵油每2000小时或每年更换一次（以先到为准），使用设备指定型号（如ISOVG32真空泵油）。换油时关闭电源，排空旧油，注入新油至视镜中线。

清洁真空腔：每月检查腔体内壁，若有样品残留（如碳沉积），可用无水乙醇蘸取无尘棉签轻轻擦拭（避免刮伤表面）。

检查密封件：每半年检查样品仓O型圈与腔体密封处，若出现老化（开裂、硬化），及时更换氟橡胶圈。

二、探测器维

SE探测器：避免碰撞栅网（镀金钼丝易变形），每月用压缩空气（无油干燥）吹扫探测器表面，清除灰尘。

BSE探测器（选配）：固态探测器需保持冷却（内置Peltier元件），确保散热口无遮挡，避免灰尘堆积影响制冷效率。

三、环境控制

温湿度监控：实验室需配备空调与除湿机，温度波动≤±2℃/天，湿度≤60%（高湿度易导致电路受潮）。

防尘措施：设备周围避免堆放杂物，定期用吸尘器清理地面与桌面灰尘，减少颗粒物进入真空系统。

四、定期校准

电子束对中：每季度执行“束流对中"程序（软件自动完成），确保电子束居中，提升成像稳定性。

分辨率校准：使用标准样品（如TGT-1金颗粒，直径20nm），每月测试一次分辨率，偏差超过10%时联系工程师调试。

五、常见问题处理

图像模糊：可能因样品漂移（检查样品台固定）、未聚焦或真空度不足（检查泵油与腔体密封）。
荷电现象：非导电样品未喷金时，可降低加速电压（至5kV）或开启低真空模式。
探测器信号弱：清洁探测器表面或检查信号线连接是否松动。
通过以上维护措施，ZEM20可保持良好性能状态。建议建立维护日志，记录泵油更换、探测器清洁等操作，便于追溯设备状态。对于无专业维护人员的用户，厂商提供年度上门维护服务（可选），确保设备长期可靠运行。

泽攸台式扫描电镜日常维护与性能保持

上一个：ZEM20泽攸台式扫描电镜操作流程与规范指南