泽攸ZEM20扫描显微镜使用说明与维护

泽攸ZEM20扫描显微镜使用说明与维护

泽攸 ZEM20 以紧凑结构、可靠真空系统、灵活的自动化功能以及完善的维护体系，能够满足材料科学、能源、生命科学等多领域的微观表征需求。通过上述六篇技术文章，您可以快速了解其硬件构成、成像性能、材料工艺、操作要点、环境适配以及典型应用场景，为实验室选型与日常使用提供系统参考。

• 首启动

• 检查 220 V 电源、接地电阻 < 2 Ω。

• 开机后系统自检 20 s，待前级泵 5 Pa 后涡轮泵自动加速至 600 Hz。

• 灯丝预热：电流阶梯升至 1.0 A，保持 90 s，工作电流 0.75 A。

• 合轴与像散校正

• 装入 100 × 铜网标样，选择 10 kV、20 pA。

• 使用 “wobbler" 观察拉伸方向，调节 X/Y 扫描幅度最小化拉伸。

• 进入像散校正窗口，执行多步迭代，保存预设文件。

• 样品交换

• 点击 “Vent" 放气，约 35 s 回到大气压。

• 打开腔盖，装入新样品台（高度 ≤ 15 mm），关闭后点击 “Pump"。

• 2.5 min 达到 < 1 × 10⁻³ Pa，完成后自动聚焦。

• 维护周期

• 3 个月：检查前级泵油雾过滤器。

• 6 个月：用无绒布蘸乙醇擦拭腔壁，记录真空曲线。

• 12 个月：备份软件、校准高压电源（差 < 0.5 %）。

• 灯丝寿命：≈ 1500 h，系统弹窗提示后更换，换后重新执行合轴。

维护要点

泽攸ZEM20扫描显微镜使用说明与维护