泽攸ZEM18扫描电镜核心结构用材选择逻辑
一、核心结构用材选择逻辑
ZEM18 台式扫描电子显微镜的结构用材围绕 “稳定性、防护性与适配性" 三大需求展开，不同部件的材料选择均对应其功能特性。机身主体采用高强度铝合金材料，该材料密度约 2.7g/cm³，兼具轻量化与抗变形能力，能支撑设备内部精密组件（如电子枪、探测器、样品台）的稳定安装，同时减少外界振动对成像系统的影响。机身外壳厚度控制在 2mm，表面经过阳极氧化处理，不仅提升了耐腐蚀性，还能降低电磁干扰，为设备内部电子元件营造稳定的工作环境。
样品室作为样本放置与成像的核心区域，内壁采用 304 不锈钢材质。304 不锈钢具有良好的密封性与耐真空性能，能配合真空系统维持 1×10⁻⁵Pa 的真空度，同时避免样本在检测过程中与金属表面发生化学反应。样品室门的密封胶条选用氟橡胶材质，氟橡胶耐高低温范围广（-20℃-200℃），且抗老化性能强，可长期保持密封效果，减少真空泄漏风险，保障设备持续稳定运行。
电子枪组件的外壳采用耐高温陶瓷材料，陶瓷材料绝缘性强，能承受电子枪工作时产生的局部高温（钨灯丝工作温度约 2700K），同时避免电子泄漏影响设备其他部件。探测器外壳则采用工程塑料（ABS+PC 合金），该材料绝缘性好、重量轻，且加工精度高，能精准固定探测器位置，确保信号采集的稳定性。
二、关键部件结构与用材特性
电子枪作为设备的 “电子源"，核心部件为热阴极钨灯丝，钨灯丝选用高纯度钨材料（纯度≥99.95%），钨的熔点高（3422℃）、电子发射稳定性强，可满足 100-200 小时的连续工作需求。灯丝固定座采用钼合金材料，钼合金导热性好，能快速分散灯丝工作时产生的热量，避免局部过热导致灯丝寿命缩短。
样品台作为承载样本的关键部件，台面采用钛合金材料，钛合金强度高、密度低，且表面平整度误差控制在 0.01mm 以内，能保证样本放置后不会因台面变形影响成像精度。样品台的驱动机构采用精密滚珠丝杠，丝杠材质为轴承钢（GCr15），经过淬火处理后硬度达 HRC60 以上，配合高精度伺服电机，可实现样品台 0.1μm 级的移动精度，满足细微区域定位需求。
真空系统中的机械泵与分子泵，其泵体均采用铸铁材质（HT200），铸铁材质刚性好、耐磨损，能承受泵体工作时的机械振动与压力变化。分子泵的转子采用铝合金材质，经过动平衡处理，转速可达 20000r/min 以上，能快速抽取样品室内的空气，配合机械泵实现 15 分钟内从大气状态抽至工作真空的需求。
三、日常维护操作指南
（一）真空系统维护
真空系统的维护是设备稳定运行的核心。每次使用后，需关闭样品室门，保持真空状态（若长期不使用，建议每周启动真空系统 1 次，维持样品室干燥）。每月需检查机械泵油位，油位应保持在油标刻度线之间，若油色变浑浊（正常油色为淡黄色，浑浊后呈深褐色），需及时更换真空泵油（推荐使用专用真空泵油，型号根据设备说明书匹配）。更换油时，需先将旧油排空，用清洗剂（如航空汽油）清洗泵体内部，再加入新油，避免新旧油混合影响真空性能。
每季度需检查分子泵的工作状态，通过设备控制面板查看分子泵转速是否稳定（正常工作转速应与设定值一致，误差不超过 ±500r/min），若出现转速波动或异常噪音，需联系专业人员检修。同时，检查样品室门密封胶条，若发现胶条变形、破损或表面附着灰尘，需用无尘布蘸取无水乙醇轻轻擦拭，若胶条老化（如出现裂纹、弹性下降），需及时更换，避免真空泄漏。
（二）电子枪与探测器维护
电子枪的维护重点在于钨灯丝的更换与清洁。当设备提示 “灯丝寿命不足" 或成像质量明显下降（如图像亮度不均匀、分辨率降低）时，需更换钨灯丝。更换前需关闭设备高压电源，待电子枪冷却至室温（约 30 分钟），打开电子枪外壳，用专用镊子取出旧灯丝，将新灯丝安装至固定座，注意避免手指直接接触灯丝（防止油污影响电子发射），安装后需通过设备软件进行灯丝对中校准，确保电子束聚焦精度。
探测器的维护需定期清洁探测窗口。每两个月需关闭设备电源，用无尘布蘸取少量异丙醇，轻轻擦拭探测器窗口（避免用力擦拭导致窗口划伤），若窗口附着顽固污渍，可使用专用镜头纸蘸取异丙醇轻柔擦拭。同时，检查探测器信号线连接是否牢固，若出现信号传输不稳定（如图像出现杂点、信号中断），需重新插拔信号线，确保接口接触良好。
（三）样品室与机身维护
样品室需每次使用后清洁，打开样品室门，用无尘布蘸取无水乙醇擦拭样品室内壁与样品台表面，去除残留的样本碎屑或污染物（如喷金过程中残留的金属粉末），避免杂质影响后续样本检测或损坏样品台。清洁时需注意避免触碰样品室内部的传感器（如真空压力传感器、温度传感器），防止传感器损坏。
机身外部维护需每周进行，用无尘布擦拭机身外壳，去除表面灰尘，若外壳有污渍，可蘸取少量中性清洁剂（如洗洁精稀释液）擦拭，再用清水擦净并晾干，避免清洁剂残留腐蚀外壳。同时，检查设备电源线、数据线连接是否牢固，若发现线缆破损，需及时更换，避免漏电或信号传输故障。
四、维护周期与注意事项
ZEM18 的维护需遵循 “定期检查 + 按需维护" 的原则，具体周期可参考以下标准：
维护过程中需注意以下事项：所有维护操作需在设备断电、真空释放后进行，避免触电或真空系统损坏；更换部件（如灯丝、密封胶条）需使用设备原厂配件，避免非原厂配件与设备不兼容导致故障；维护过程中产生的废弃物（如旧灯丝、废真空泵油）需按照环保要求分类处理，不可随意丢弃。通过科学的结构用材选择与规范的维护操作，可有效延长 ZEM18 的使用寿命，保障设备长期稳定运行。
泽攸ZEM18扫描电镜核心结构用材选择逻辑
相关文章
上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
当前位置：首页
产品中心
产品简介
产品分类