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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸台式扫描电镜
泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能
泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能ZEM18 台式扫描电子显微镜的参数设计围绕 “多场景兼容" 展开,各项指标均对应具体的检测需求。
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泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能
打开设备总电源开关(位于机身背面),此时控制面板指示灯亮起,进入待机状态;
启动真空系统:在触控屏上点击 “真空控制" 图标,选择 “自动抽真空" 模式,设备将先启动机械泵(约 3 分钟后机械泵达到工作转速),随后启动分子泵;
等待真空度达标:通过触控屏实时查看真空压力值,当样品室真空度降至 1×10⁻⁴Pa 以下时(约 15 分钟),设备提示 “真空就绪",此时可进行后续操作;
预热电子枪:点击 “电子枪控制" 图标,选择 “预热" 模式,钨灯丝将逐步升温至工作温度(约 5 分钟),预热完成后电子枪指示灯变为绿色,表明电子束可正常发射。
样品预处理:导电样品(如金属、半导体)可直接用无尘布蘸取无水乙醇擦拭表面,去除油污或碎屑;非导电样品(如聚合物、生物组织)需通过离子溅射仪喷涂 5-10nm 厚的金属膜(常用材料为金或铂),避免检测时出现电荷积累;
样品固定:将处理后的样品放置在样品台专用夹具上,根据样品尺寸选择合适夹具(如圆形夹具适配 Φ10mm 以内样品,方形夹具适配 20mm×20mm 以内样品),用螺丝轻轻固定(力度适中,避免压损样品);
装载样品:打开样品室门(需先在触控屏上点击 “释放真空",待真空度回升至大气压后),将样品台缓慢放入样品室,关闭样品室门,重新启动 “自动抽真空",待真空度再次达标后(约 5 分钟),进入参数设置环节。
样品预处理:导电样品(如金属、半导体)可直接用无尘布蘸取无水乙醇擦拭表面,去除油污或碎屑;非导电样品(如聚合物、生物组织)需通过离子溅射仪喷涂 5-10nm 厚的金属膜(常用材料为金或铂),避免检测时出现电荷积累;
样品固定:将处理后的样品放置在样品台专用夹具上,根据样品尺寸选择合适夹具(如圆形夹具适配 Φ10mm 以内样品,方形夹具适配 20mm×20mm 以内样品),用螺丝轻轻固定(力度适中,避免压损样品);
装载样品:打开样品室门(需先在触控屏上点击 “释放真空",待真空度回升至大气压后),将样品台缓慢放入样品室,关闭样品室门,重新启动 “自动抽真空",待真空度再次达标后(约 5 分钟),进入参数设置环节。
加速电压选择:根据样品类型调整,非导电样品或易损伤样品(如生物细胞)设为 0.5kV-5kV,导电材料设为 5kV-18kV(例如观察金属晶界时可选 15kV);
探测器选择:若需观察表面形貌,选择 “二次电子探测器(SE)";若需分析元素分布差异,选择 “背散射电子探测器(BSE)",并可切换 “高角(HA)" 或 “低角(LA)" 模式(HA 模式适合区分重元素区域,LA 模式适合轻元素区域);
放大倍率与扫描速度:先从低倍率(20X-100X)开始,通过样品台控制杆(或触控屏 “样品台移动" 功能)定位目标区域,再逐步提升至所需倍率(如观察纳米结构可选 100,000X);扫描速度根据成像需求调整,快速预览设为 500-1000 线 / 秒,精细成像设为 50-200 线 / 秒(速度越低,图像分辨率越高,但成像时间越长);
聚焦与对比度调整:点击 “自动聚焦" 按钮,设备将自动完成初步聚焦,随后可通过手动旋钮微调聚焦清晰度;通过 “亮度 / 对比度" 滑块调整图像明暗与细节层次,确保目标区域特征清晰可见(例如观察样品边缘时,可适当提高对比度)。
实时成像预览:软件界面左侧显示实时成像窗口,支持全屏或分屏(SE/BSE 对比)显示,可通过 “截图" 按钮捕捉当前图像(格式包括 BMP、TIFF、JPEG);
自动功能:除自动聚焦外,还支持 “自动亮度 / 对比度"“自动倍率校准" 功能,新手用户可通过这些功能快速获得清晰图像;
扫描模式切换:提供 “点扫描"“线扫描"“面扫描" 三种模式,点扫描适合局部区域精细聚焦,线扫描适合分析线性结构(如导线宽度),面扫描为常规成像模式。
基础处理:支持图像裁剪、旋转、缩放,以及亮度 / 对比度微调、降噪处理(通过 “平滑滤镜" 减少图像杂点);
测量功能:内置长度、面积、粒径测量工具,点击 “测量" 图标后,在图像上标记目标区域(如两点间距离、圆形区域直径),软件将自动计算数值并显示误差范围(测量精度与放大倍率相关,1000X 倍率下长度测量误差约 ±0.1μm);
伪彩处理:可对 BSE 图像进行伪彩染色(如用红色显示高原子序数区域,蓝色显示低原子序数区域),便于直观区分不同元素区域。
数据分析:支持将多组图像数据导入 “对比分析" 功能,自动生成灰度值分布曲线、尺寸统计图表(如粒径分布直方图),可导出为 Excel 格式;
报告生成:软件内置标准化报告模板,包含设备参数、样品信息、图像数据、测量结果等模块,用户可填写样品名称、检测日期、操作人员等信息,插入图像与分析图表后,直接导出为 PDF 格式(支持自定义报告标题与 logo)。
结束成像后,先将加速电压降至 0kV,关闭电子枪(点击 “电子枪控制"→“关闭");
释放真空:在触控屏上点击 “释放真空",待样品室真空度回升至大气压后,打开样品室门,取出样品台,清洁样品室内部(用无尘布蘸取无水乙醇擦拭);
关闭真空系统:点击 “真空控制"→“关闭分子泵",待分子泵转速降至 0 后(约 10 分钟),关闭机械泵;
关闭设备总电源,拔掉电源线(若长期不使用)。
禁止在真空未达标时启动电子枪,避免电子束散射导致成像模糊,或损坏电子元件;
样品装载时需轻拿轻放,避免样品台碰撞样品室内部传感器(如真空压力传感器);
软件操作时,禁止同时运行其他大型程序,避免占用系统资源导致软件卡顿或数据丢失;
若检测过程中出现异常(如真空度无法达标、图像突然中断),需立即关闭电子枪与真空系统,联系专业人员排查故障,不可自行拆解设备。