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泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能

产品简介

泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能
ZEM18 台式扫描电子显微镜的参数设计围绕 “多场景兼容" 展开,各项指标均对应具体的检测需求。

产品型号:
更新时间:2025-10-13
厂商性质:代理商
访问量:25
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泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能

一、设备开机与前期准备
(一)开机前检查
启动 ZEM18 台式扫描电子显微镜前,需完成三项基础检查:首先确认设备电源线、数据线连接牢固,无松动或破损;其次查看机械泵油位,确保油位处于油标刻度线之间,油色呈淡黄色(无浑浊或发黑);最后检查样品室门密封胶条,确认无变形、破损或异物附着,保证真空密封效果。若环境湿度较高(超过 60%),建议提前开启实验室除湿设备,避免水汽影响真空系统或电子元件。
(二)开机操作流程
  1. 打开设备总电源开关(位于机身背面),此时控制面板指示灯亮起,进入待机状态;

  1. 启动真空系统:在触控屏上点击 “真空控制" 图标,选择 “自动抽真空" 模式,设备将先启动机械泵(约 3 分钟后机械泵达到工作转速),随后启动分子泵;

  1. 等待真空度达标:通过触控屏实时查看真空压力值,当样品室真空度降至 1×10⁻⁴Pa 以下时(约 15 分钟),设备提示 “真空就绪",此时可进行后续操作;

  1. 预热电子枪:点击 “电子枪控制" 图标,选择 “预热" 模式,钨灯丝将逐步升温至工作温度(约 5 分钟),预热完成后电子枪指示灯变为绿色,表明电子束可正常发射。

二、样品装载与参数设置
(一)样品预处理与装载
  1. 样品预处理:导电样品(如金属、半导体)可直接用无尘布蘸取无水乙醇擦拭表面,去除油污或碎屑;非导电样品(如聚合物、生物组织)需通过离子溅射仪喷涂 5-10nm 厚的金属膜(常用材料为金或铂),避免检测时出现电荷积累;

  1. 样品固定:将处理后的样品放置在样品台专用夹具上,根据样品尺寸选择合适夹具(如圆形夹具适配 Φ10mm 以内样品,方形夹具适配 20mm×20mm 以内样品),用螺丝轻轻固定(力度适中,避免压损样品);

  1. 装载样品:打开样品室门(需先在触控屏上点击 “释放真空",待真空度回升至大气压后),将样品台缓慢放入样品室,关闭样品室门,重新启动 “自动抽真空",待真空度再次达标后(约 5 分钟),进入参数设置环节。

二、样品装载与参数设置
(一)样品预处理与装载
  1. 样品预处理:导电样品(如金属、半导体)可直接用无尘布蘸取无水乙醇擦拭表面,去除油污或碎屑;非导电样品(如聚合物、生物组织)需通过离子溅射仪喷涂 5-10nm 厚的金属膜(常用材料为金或铂),避免检测时出现电荷积累;

  1. 样品固定:将处理后的样品放置在样品台专用夹具上,根据样品尺寸选择合适夹具(如圆形夹具适配 Φ10mm 以内样品,方形夹具适配 20mm×20mm 以内样品),用螺丝轻轻固定(力度适中,避免压损样品);

  1. 装载样品:打开样品室门(需先在触控屏上点击 “释放真空",待真空度回升至大气压后),将样品台缓慢放入样品室,关闭样品室门,重新启动 “自动抽真空",待真空度再次达标后(约 5 分钟),进入参数设置环节。

(二)核心参数设置
  1. 加速电压选择:根据样品类型调整,非导电样品或易损伤样品(如生物细胞)设为 0.5kV-5kV,导电材料设为 5kV-18kV(例如观察金属晶界时可选 15kV);

  1. 探测器选择:若需观察表面形貌,选择 “二次电子探测器(SE)";若需分析元素分布差异,选择 “背散射电子探测器(BSE)",并可切换 “高角(HA)" 或 “低角(LA)" 模式(HA 模式适合区分重元素区域,LA 模式适合轻元素区域);

  1. 放大倍率与扫描速度:先从低倍率(20X-100X)开始,通过样品台控制杆(或触控屏 “样品台移动" 功能)定位目标区域,再逐步提升至所需倍率(如观察纳米结构可选 100,000X);扫描速度根据成像需求调整,快速预览设为 500-1000 线 / 秒,精细成像设为 50-200 线 / 秒(速度越低,图像分辨率越高,但成像时间越长);

  1. 聚焦与对比度调整:点击 “自动聚焦" 按钮,设备将自动完成初步聚焦,随后可通过手动旋钮微调聚焦清晰度;通过 “亮度 / 对比度" 滑块调整图像明暗与细节层次,确保目标区域特征清晰可见(例如观察样品边缘时,可适当提高对比度)。

三、软件核心功能与操作
ZEM18 配套软件包含 “成像控制"“图像处理"“数据分析"“报告生成" 四大模块,支持 Windows 系统操作,同时提供触控屏与外接鼠标 / 键盘两种操作方式。
(一)成像控制模块
  1. 实时成像预览:软件界面左侧显示实时成像窗口,支持全屏或分屏(SE/BSE 对比)显示,可通过 “截图" 按钮捕捉当前图像(格式包括 BMP、TIFF、JPEG);

  1. 自动功能:除自动聚焦外,还支持 “自动亮度 / 对比度"“自动倍率校准" 功能,新手用户可通过这些功能快速获得清晰图像;

  1. 扫描模式切换:提供 “点扫描"“线扫描"“面扫描" 三种模式,点扫描适合局部区域精细聚焦,线扫描适合分析线性结构(如导线宽度),面扫描为常规成像模式。

(二)图像处理模块
  1. 基础处理:支持图像裁剪、旋转、缩放,以及亮度 / 对比度微调、降噪处理(通过 “平滑滤镜" 减少图像杂点);

  1. 测量功能:内置长度、面积、粒径测量工具,点击 “测量" 图标后,在图像上标记目标区域(如两点间距离、圆形区域直径),软件将自动计算数值并显示误差范围(测量精度与放大倍率相关,1000X 倍率下长度测量误差约 ±0.1μm);

  1. 伪彩处理:可对 BSE 图像进行伪彩染色(如用红色显示高原子序数区域,蓝色显示低原子序数区域),便于直观区分不同元素区域。

(三)数据分析与报告生成
  1. 数据分析:支持将多组图像数据导入 “对比分析" 功能,自动生成灰度值分布曲线、尺寸统计图表(如粒径分布直方图),可导出为 Excel 格式;

  1. 报告生成:软件内置标准化报告模板,包含设备参数、样品信息、图像数据、测量结果等模块,用户可填写样品名称、检测日期、操作人员等信息,插入图像与分析图表后,直接导出为 PDF 格式(支持自定义报告标题与 logo)。

四、关机流程与注意事项
(一)关机操作
  1. 结束成像后,先将加速电压降至 0kV,关闭电子枪(点击 “电子枪控制"→“关闭");

  1. 释放真空:在触控屏上点击 “释放真空",待样品室真空度回升至大气压后,打开样品室门,取出样品台,清洁样品室内部(用无尘布蘸取无水乙醇擦拭);

  1. 关闭真空系统:点击 “真空控制"→“关闭分子泵",待分子泵转速降至 0 后(约 10 分钟),关闭机械泵;

  1. 关闭设备总电源,拔掉电源线(若长期不使用)。

(二)操作注意事项
  1. 禁止在真空未达标时启动电子枪,避免电子束散射导致成像模糊,或损坏电子元件;

  1. 样品装载时需轻拿轻放,避免样品台碰撞样品室内部传感器(如真空压力传感器);

  1. 软件操作时,禁止同时运行其他大型程序,避免占用系统资源导致软件卡顿或数据丢失;

  1. 若检测过程中出现异常(如真空度无法达标、图像突然中断),需立即关闭电子枪与真空系统,联系专业人员排查故障,不可自行拆解设备。

通过规范的操作流程与软件功能的合理运用,ZEM18 可在保证成像质量的同时,提升检测效率,满足科研与工业检测中的多样化需求。泽攸ZEM18扫描电镜操作全流程与软件功能

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