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台式电镜&台阶仪&原位分析
泽攸台式扫描电镜
探秘泽攸ZEM20扫描显微镜能参数全解析
探秘泽攸ZEM20扫描显微镜能参数全解析ZEM20的性能参数体现了其在台式电镜中的技术定位。
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探秘泽攸ZEM20扫描显微镜能参数全解析
ZEM20的性能参数体现了其在台式电镜中的技术定位。成像分辨率方面,在20kV加速电压下,二次电子像分辨率优于4.0nm,背散射电子像分辨率可达5.0nm。放大倍数范围从20倍到36万倍连续可调,涵盖了从宏观观察到微观细节的广泛需求。
电子光学系统参数显示,加速电压范围1-20kV,步进0.1kV可调;电子枪采用预对中钨灯丝,典型寿命超过100小时。样品室真空度优于5×10⁻³Pa,确保电子束传播过程中不受残余气体分子过多干扰。样品台移动范围达到X/Y轴±25mm,Z轴5-40mm连续可调,倾斜角度-10°至+90°,旋转角度360°连续可调。
在探测系统方面,标配的二次电子探测器采用闪烁体-光导管-光电倍增管组合,具有较高信噪比。背散射电子探测器为四象限半导体探测器,支持成分分析和形貌分析两种工作模式。设备还预留了能谱仪接口,可扩展安装EDS探测器进行元素分析。
ZEM20的性能参数包括成像、真空与操作等方面。在成像性能上,其二次电子与背散射电子图像分辨率均达到4nm,放大倍数范围为数十倍至36万倍。加速电压最大支持20kV,并可选择高真空或低真空模式(低真空为选配)。电子枪类型为预对中钨灯丝,寿命较长。样品台标准配置为三轴,可选五轴,移动范围灵活。真空系统采用独特分隔设计,抽真空时间短,换样后准备迅速。探测器类型涵盖SE(二次电子)与BSE(背散射电子)。设备还支持图像多格式保存(如TIFF、JPEG),分辨率最高可达7680×4800像素。这些参数保证了ZEM20在微观形貌观察中的表现。探秘泽攸ZEM20扫描显微镜能参数全解析