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SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
ZP3-4 微纳探针台探针数量:4个探头,每个探头配备一个三轴探针臂;自由度:每个探头独立驱动(X、Y、Z三自由度)。
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