Sensofar：跨领域表面测量“通用解决方案”

从工业质检到科研分析，从微观缺陷检测到宏观表面均匀性评估，表面形貌测量的需求正呈现多元化趋势。Sensofar S wide大视野3D光学轮廓仪凭借其“模块化设计+多技术融合"特性，成为跨领域表面测量的通用工具。

产品细节：灵活适配多样化需求

S wide的机身采用模块化设计，可根据用户需求扩展拉曼光谱仪、红外成像模块等附加功能，实现多技术联用。其光学系统支持共聚焦显微镜与白光干涉双模切换：共聚焦模式适合粗糙表面或高斜率样品的测量，白光干涉模式则专注于纳米级形貌分析。

设备搭载500万像素CMOS传感器，配合数字变焦功能，既能实现10mm×10mm区域的整体扫描，也可对局部细节进行放大观察。样品台为电动平移结构，X/Y轴行程300mm×300mm（科研版）或500mm×500mm（工业版），承重范围10kg-30kg，支持晶圆、复合材料板材、显示面板等多样化样品。

性能优势：效率与精度的双重保障

S wide的“快速拼接算法"支持多区域测量数据的自动拼接，拼接精度0.1μm，拼接速度较传统算法提升50%。以300mm×300mm晶圆测量为例，传统设备需分9次扫描并手动拼接，耗时1.5小时；S wide仅需1小时即可完成精细扫描（分辨率500nm），兼顾效率与精度。

在批量检测场景中，S wide每小时可完成5-8块光伏玻璃的全面检测，或3-5块液晶面板的表面质量检测。设备具备自动缺陷分类功能，可预设划痕、气泡、异物等常见缺陷的特征参数，实现缺陷的自动识别与分类统计，减少人工判断误差。

用材与工艺：耐用性与可靠性的双重验证

光学镜头采用钛合金镜筒，重量轻且刚性强，长期使用后不易形变；样品台导轨驱动电机选用伺服电机，配合高精度光栅尺（分辨率0.01μm），移动定位精度达±0.05μm。内部散热系统采用分区散热设计，连续工作2小时后机身温度波动小于5℃，保障光学元件稳定性。

设备外壳采用冷轧钢板，表面经过防静电喷涂处理，能抵抗实验室常见化学试剂的腐蚀，同时减少静电对电子元件的影响。关键部件如滚珠丝杠、伺服电机等均选用工业级耐用材料，使用寿命达3万小时以上。

参数表与型号对比

科研版侧重于多功能性与数据统计，配套软件支持粗糙度分布、缺陷密度等参数的自动计算；工业版则强化了批量检测能力，支持与生产线对接实现自动上下料。

典型跨领域应用与操作指南

在半导体制造中，S wide用于分析晶圆表面的颗粒污染与薄膜厚度均匀性；在汽车制造领域，其大视场特性可快速检测车身涂层的针孔、划痕等微观缺陷。操作流程如下：

1. 样品固定：使用可调节夹具固定不规则形状样品，耐磨防滑垫防止滑动；

2. 模式选择：粗糙样品选共聚焦模式，光滑样品选白光干涉模式；

3. 区域定位：通过低倍物镜框选测量区域，软件自动规划扫描路径；

4. 数据分析：生成包含3D形貌图、截面曲线与粗糙度参数的检测报告。

通过模块化设计与多技术融合，S wide大视野3D光学轮廓仪正成为跨领域表面测量的“通用解决方案"，为工业质检与科研分析提供高效、可靠的技术支持。