Sensofar共聚焦白光干涉捕捉细微结构轮廓仪
一、精细检测:不放过微小表面细节
在检测微小样品(如芯片引脚、微型齿轮、光学薄膜)时,传统轮廓仪常因分辨率不足,难以清晰呈现微米级甚至纳米级的表面结构,而 Sensofar S lynx2 依托三维共聚焦白光干涉技术,能精准捕捉这类细微特征,为精密检测提供支持。
比如检测芯片上直径仅几十微米的键合线时,S lynx2 可清晰呈现键合线的弧度、表面光滑度,甚至能识别线体上细微的划痕或凸起,这些细节直接关系到芯片的导电性能与稳定性。传统设备可能需要放大多次才能勉强观察,而 S lynx2 通过优化的光学系统,一次扫描就能生成键合线的 3D 形貌图,直观展示其表面状态,不用反复调整焦距或切换视野。
针对光学薄膜检测,S lynx2 同样表现出色。几微米厚的增透膜,其表面平整度与厚度均匀性会影响光学性能,设备可通过非接触方式,同时获取薄膜的厚度数据与表面粗糙度信息,避免接触测量导致的薄膜损伤。检测时,软件会自动生成厚度分布曲线,标注厚度偏差较大的区域,帮助技术人员判断薄膜沉积工艺是否需要调整。
二、用材与结构:稳定支撑精细检测
为保障精细检测的稳定性,S lynx2 在核心部件用材与结构设计上做了针对性优化。光学镜头采用高透光率光学玻璃,搭配多层镀膜工艺,减少光线反射损耗,确保成像清晰;镜头表面覆盖防刮涂层,日常清洁时不易留下划痕,延长使用寿命。
设备机身采用刚性合金框架,能有效减少外界振动对检测的影响 —— 比如在车间环境中,周围设备运行产生的轻微振动,不会导致 S lynx2 的检测数据偏移,无需额外搭建防震平台。样品台选用耐磨陶瓷材质,表面光滑平整,放置样品时不易产生划痕,同时具备良好的稳定性,即使微小样品轻微偏移,软件的 “自动定位" 功能也能快速修正。
光源模块采用长寿命白光 LED,发光稳定且光谱范围适配共聚焦检测需求,正常使用下多年无需更换,减少耗材支出与停机维护时间。
三、基础参数与使用说明
(1)核心参数表
(2)基础使用步骤
样品准备:将样品轻轻放在样品台中心,确保样品表面无明显污渍(若有污渍,用无尘布轻轻擦拭);
参数设置:打开配套软件,根据样品材质(如金属、玻璃)选择预设的检测模式,软件会自动匹配合适的光源强度与扫描速度;
定位与扫描:点击 “自动对焦" 按钮,设备自动定位样品检测区域,确认区域无误后,点击 “开始扫描",扫描过程中无需手动干预;
数据查看与导出:扫描完成后,软件自动生成 3D 形貌图与检测数据,可通过 “标注工具" 标记重点区域,数据支持导出为 Excel、PDF 格式,方便后续分析。
无论是电子行业的微型元件检测,还是光学行业的薄膜研究,Sensofar S lynx2 都能通过精细的检测能力与稳定的性能,成为精密测量场景中的实用工具,帮助用户清晰掌握微小样品的表面状态。Sensofar共聚焦白光干涉捕捉细微结构轮廓仪